洁净室(区)空气洁净度级别表
洁净度级别 |
尘粒最大允许数/立方米 |
微生物最大允许数 |
换气次数 |
||
≥0.5μm |
≥5μm |
浮游菌/立方米 |
沉降菌/Ф90皿0.5h |
||
100级 |
3500 |
0 |
5 |
0.5 |
附注2 |
10000级 |
350000 |
2000 |
50 |
1.5 |
≥20次/时 |
100000级 |
3500000 |
20000 |
150 |
3 |
≥15次/时 |
300000级 |
10500000 |
60000 |
200 |
5 |
≥10次/时 |
注: (1)尘埃粒子数/立方米,要求对≥0.5μm和≥5μm的尘粒均测定,浮游菌/立方米和沉降菌/皿,可任测一种。 (2)100级洁净室(区)0.8米高的工作区的截面最低风速:垂直单向流0.25米/秒;水平单向流0.35米/秒。 (3)洁净室的测定参照JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》执行。 |