控制洁净度(洁净室的含尘浓度)是洁净室主要目的,在洁净室设计时1~5级的洁净室常以FFU满布和高架地板回风来实现单向流以满足洁净度的要求,6~9级则以高效送风口送风来达到洁净度的要求。在设计6~9级的洁净室时同样可以采用干盘管—FFU系统,此时FFU并不需要满布而用来取代高效过滤器送风达到室内洁净度的要求。
因为电子行业在不断的发展,所以对洁净室的要求也越来越高,使得很多业主在改造厂房、扩大生产或进行实验研究中满足新工艺的要求。在改造的厂房中FFU—干盘管系统是一种很合适的设计方式。洁净厂房由较多的换气次数来满足室内洁净度的要求,如果采用一次回风系统,送风风管与回风风管的尺寸必然很大,很占用吊顶技术夹层的空间。
各种管路都在技术夹层内,错综复杂,多数改造项目厂房高度都较低,为了保证洁净室室内高度,一般室内净高为2.6~3.0m,所以吊顶技术夹层一般只有1~1.5m(厂房为钢筋混凝土结构),当采用一次回风系统时,风管将会占用技术夹层的所有空间,而且会造成风管走不通管道“打架”,高效过滤器与风管没有连接的空间,技术夹层内无法上人,为电气配电造成困难,运行以后技术夹层内无法上人进行检修。采用新风机组“干盘管—FFU”系统则可以避免这一问题。所谓干盘管(DryCoil)是指干盘管表面温度高于回风的露点温度,换热器表面没有凝结水析出。